有些真空工藝會產(chǎn)生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法運(yùn)行，如果灰塵進(jìn)入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵埃的規(guī)避和過濾己成為增加
真空腔體的使用壽命，增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題，在有塵埃的真空系統(tǒng)中，要采用塵埃過濾器。
在灰塵量較少時，可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除，但灰塵量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。常用塵埃過濾方式有以下幾種：
?。?）旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏心放置，塵埃隨氣流旋轉(zhuǎn)，因離心力作用而沉降在過濾器的底部。
?。?）油淋式。在油泵的作用下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流相互作用吸附，混在氣流中的塵埃與油一起沉降至油池。
?。?）油濕介質(zhì)粘附式。塵埃在氣流作用下碰撞用真空泵油浸濕的介質(zhì)表面而被粘附，常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
?。?）介質(zhì)阻擋式。利用介質(zhì)的機(jī)械阻擋作用過濾塵埃，常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
?。?）靜電吸附式。利用真空中氣輝光放電形成等離子體，塵埃在等離子體中附著電荷，在電場力作用下被驅(qū)向電極表面而被捕集。
（6）混合式。將以上幾種過濾形式進(jìn)行組合形成混合的過濾形式。
