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產(chǎn)品系列

圓筒型真空腔體
方型真空腔體
特材真空腔體
哈氏合金腔體
鎳基合金腔體
純鎳腔體
哈氏合金反應釜
鎳基合金反應釜
純鈦反應釜
特材反應釜
真空配件

聯(lián)系方式

聯(lián)系人：許先生

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郵　箱：xu@wxguode.com 地　址：無錫市濱湖區(qū)南湖社區(qū)寺前村

真空腔體的概述

這種真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點是機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。
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2019/06/17 11:14:46 3705 次

真空擴散泵機組的特點和應用

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